看圖讀懂半導體製造裝置

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清華大學動力機械工程學系教授羅丞曜 審訂得半導體得天下?要想站上世界的頂端,就一定要了解什麼是半導體!半導體可謂現在電子產業的大腦,從電腦、手機、汽車到資料中心伺服器,其中具備的智慧型功能全都要靠半導體才得以完成,範圍廣布通信、醫療保健、運輸、教育等,因此半導體可說是資訊化社會不可或缺的核心要素!半導體被稱為是「產業的米糧、原油」,可見其地位之重要臺灣半導體產業掌握了全球的科技,不僅薪資傲人,產業搶才甚至擴及到了高中職!但,到底什麼是半導體?半導體又是如何製造而成的呢?本書詳盡解說了製造半導體的主要裝置,並介紹半導體所有製程及其與使用裝置的關係,從實踐觀點專業分析半導體製造的整體架構,輔以圖解進行細部解析,幫助讀者建立系統化知識,深入了解裝置的構造、動作原理及性能。


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